半導体の発展は、IoT,自動車,データストレージなど、他分野の発展にも関連するため様々な分野から期待されています。オックスフォード・インストゥルメンツの製品群は、半導体デバイスの開発,故障解析,プロセス監視に至る幅広い分野で利用されています。
測定テクニック | アプリケーション | 関連製品 | Keywords |
電子線後方散乱回折(EBSD) | ナノマニピュレーションの金線のEBSD解析への応用 | Symmetry S2 OmniProbe 400 |
EBSD, FIB-SEM, ナノマニピュレーション |
エネルギー分散型X線分析(EDS) | 低加速電圧EDSを用いたNAND型フラッシュ・メモリ・デバイスの解析 | UltimExtreme AZtecLive |
EDS, 高解像度EDSマップ |
エネルギー分散型X線分析(EDS) | LayerProbeとOmniProbe 400を使用した高品質なTEMラメラ作成とオンチップ分析 | AZtec LayerProbe OmniProbe 400 |
TEM, 薄膜分析, FIB-SEM, ナノマニピュレーション |
エネルギー分散型X線分析(EDS) | LayerProbe - フレキシブルなエレクトロニクス解析 | AZtec LayerProbe | 薄膜分析, 非破壊, 厚さ, 組成 |
エネルギー分散型X線分析(EDS) | SEMにおける半導体デバイスのマッピング | UltimExtreme AZtecLive |
EDS, 高解像度EDSマップ |
エネルギー分散型X線分析(EDS) | TEMでの半導体マッピング - ピークオーバーラップをリアルタイムで処理 | AZtecTEM | TEM-EDS |
原子間力顕微鏡 (AFM) | Jupiter XRによる半導体向けソリューション | Jupiter XR AFM | 異物解析, 不良解析, ラフネス評価 |
原子間力顕微鏡 (AFM) | Ergo(エルゴ):自動多点ウェハイメージングを可能にする新しいAFM用ソフトウェア・インターフェース | Jupiter XR AFM Cypher AFM |
自動多点ウェハイメージング, 欠陥検査 |
原子間力顕微鏡 (AFM) | 半導体の電化キャリアやドーパントの情報の可視化に役立つ走査型キャパシタンス顕微鏡 (SCM) | Jupiter XR AFM Cypher AFM |
半導体, 電化キャリア, ドーパント |
原子間力顕微鏡 (AFM) | 磁気・データストレージ研究のためのAFM | Jupiter XR AFM Cypher AFM MFP-3D AFM |
磁性材料, 圧電材料, 磁気スキルミオン |
原子間力顕微鏡 (AFM) | AFMによるナノ粗さ測定 | Jupiter XR AFM | 粗さ, ウェハ |
原子間力顕微鏡 (AFM) | AFMを用いたナノスケールの電気特性評価 | Jupiter XR AFM | 電流測定, 故障解析, 表面電位 |
クライオスタット | 高温超電導材料の抵抗測定 | OptistatDry BLV | 超電導 |