アプリケーション事例集
半導体/電子部品

半導体の発展は、IoT,自動車,データストレージなど、他分野の発展にも関連するため様々な分野から期待されています。オックスフォード・インストゥルメンツの製品群は、半導体デバイスの開発,故障解析,プロセス監視に至る幅広い分野で利用されています。

ソリューション

AZtecLive は、SEM を用いた試料の分析方法を根本的に変える、EDS 分析の革新的な新しいアプローチです。ライブの電子像をライブのX線化学組成画像と組み合わせ、直感的で新しい方法により、試料を観察し、分析することができます。

【SEM用EDS分析システム】AZtecLive

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Jupiter XR AFMは「広域・高速スキャン」「光熱励振タッピングモード」「座標補正機能」「オートパイロット」などの機能が、従来AFMの常識を覆すスピードと精度で作業効率を劇的に改善。また、新規AFM用ソフトウェアErgoと組み合わせることで、自動多点ウェハイメージングが可能に。他の欠陥検査装置で得た座標をアップロードし、”スタート”ボタンを押すだけで操作も簡単です。

【自動多点ウェハイメージング】Jupiter XR 原子間力顕微鏡 &
Ergo ソフトウェア

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無冷媒ボトムローディング式光学測定用クライオスタット。冷媒を必要としないクライオスタットであり、広い温度領域での光学測定にご利用いただけます。ユニークなボトムローディング機構により、試料へのアクセスも容易です。試料は真空断熱層に設置されるため、広いサンプルスペースを確保できます。

【無冷媒ボトムローディング式光学測定用クライオスタット】OptistatDry BLV

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