開催日時

2022年6月10日（金） 13：00～15：30

タイトル

最新ULV-SEMと高性能分析機器の活用に関するセミナー

会場

Webセミナー（参加費無料）

主催

JFEテクノリサーチ株式会社

共催：カールツァイス株式会社、オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社

開催概要

新しい材料や部品・プロセスを開発されている皆様に、JFEテクノリサーチ株式会社は新解析技術を提案してまいりました。新しい表面解析法として、2002年には、国内で初の極低加速電圧走査顕微鏡（ULV-SEM）を導入し、今春、同社千葉に、次世代のULV-SEMを設置します。より低い加速電圧での観察や高感度なエネルギー分散型X線分光分析（EDX）により、従来観察できなかった表面構造が解析できる可能性を秘めています。

皆様の材料開発に、あるいはトラブルシューティングのヒントになればとの想いから、本セミナーを企画いたしました。ULV-SEM関連の最新事情と実務に役立つ情報を解析事例と合わせてご紹介いたします。

セミナー内容

1. 「最新の走査電子顕微鏡でここまでできる材料組織解析　ー多様な検出器の最大活用ー」

講演者：JFEテクノリサーチ株式会社 佐藤 馨

本講演では「複数の像検出器を搭載した最新の走査電子顕微鏡」の特長を簡単に述べます。低加速電圧領域も含め、 "Sweet spot"で観察した二次電子像や反射電子像さらにはEDS分析で豊かな組織情報が得られます。析出物の選択的な可視化、バルク試料を用いた転位観察、複数検出器を駆使した磁石観察等の事例を紹介することで皆様の材料組織解析を高度化するためのヒントを提供致します。

2.「イメージング・分析・画像解析の全てを高精度かつ高速に：最新ZEISS GeminiSEM 460 Gemini Technologyのご紹介」

講演者：カールツァイス株式会社 小田武秀

最新の走査電子顕微鏡 GeminiSEM460 は、GeminiⅡ カラムを搭載することで低加速電圧観察だけでなく、高スループットな EDS、 EBSD 分析も可能にしました。講演では様々な Gemini Technology の機能と 機械学習を使用した画像解析も紹介します。

3. 「材料表面特性を解釈するための極表面・断面解析技術」

講演者：JFEテクノリサーチ株式会社 池本 祥

SEM観察時の加速電圧を変化させて情報深さを制御することで、物質の極表面の情報と深い位置の情報を選択的に得ることができます。講演では、表面処理を施した材料を例に、表面からのアプローチ法とFIB-SEMを用いて特定の断面を直接観察する方法をご紹介します。

4. 「高感度EBSD検出器Symmetry/SymmetryS2とULV-SEMを組み合わせた応用例」

講演者：オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社 森田博文

CMOS素子を用いた高感度EBSD検出器Symmetry及びSymmetryS2は、従来の15-30kVでの方位測定に加えて5-10kVの低加速でのEBSD測定にも活用できます。低加速のメリットを活かしたバルク試料表面の方位を高分解能で収集して、バルク表面の結晶性薄膜などへの応用が期待できます。

5. 「機械特性を支配する金属材料組織・ひずみ分布解析」

講演者：JFEテクノリサーチ株式会社 阪口友唯

機械特性をミクロな観点から把握する手法として、XRD、SEM-EBSDおよびTEMなどを用いた材料組織やひずみ分布評価などが挙げられます。本講演では、金属材料を例として、XRDおよびTEMによる転位密度解析、SEM-ECCI法による転位観察技術、EBSD法によるひずみ分布観察などの実施例をご紹介いたします。

6. 「お客様ニーズに応じてナノ解析センターが提供する解析事例」

講演者：JFEテクノリサーチ株式会社 山田克美

私どもはULV-SEMの他, (S)TEM, XRD, 表面分析, 放射光技術により、受託分析会社として20年以上歩んできました。材料・プロセス開発を支える解析のプロとして、お客様の御要望に応える適切な観察・分析について研鑽を積んでいます。ここでは、トピックスとして3D-STEMによる触媒評価、非暴露クライオ条件での電池STEM解析、X-CTによるFC-MEA内部構造観察、更に標準になりつつあるWeb 立会システムについてご紹介します。