オックスフォード・インストゥルメンツ（株）分析機器事業部は、2024年6月12日（水）～14日（金）、東京ビッグサイト　東展示棟で開催される「JPCA Show 2024」に出展します。

また6月13日（木）14:00～14：20、NPIセミナーでは「反射電子とX線を同時検出する革新的な検出器「Unity」を使用した、電子部品の高速・高精細元素マップ解析事例」について講演します。

※JPCA Show 2024は、「電子機器トータルソリューション展」（複合展）のひとつです。

会期：2024年6月12日（水）～14日（金）

会場：東京ビッグサイト　東展示棟（東京都江東区有明３丁目１１−１）

当社の出展内容

【小間番号】6H-03

【出展ゾーン】半導体パッケージング・部品内蔵技術展

◎出展者NPIセミナー

【日時】6月13日（木）14:00～14：20（セミナー会場D)

【タイトル】反射電子とX線を同時検出する革新的な検出器「Unity」を使用した、電子部品の高速・高精細元素マップ解析事例

【講演概要】

電子部品や実装部品の製品開発や不良解析には、走査電子顕微鏡に搭載したエネルギー分散型X線分析装置(EDS)を用いた元素分布や組成分析が広く使用されています。オックスフォード・インストゥルメンツが新たに開発したUnity（ユニティ）検出器は、反射電子検出素子とX線検出素子を一つのセンサーヘッドに搭載して、同時に検出可能な革新的な検出器です。Unityのセンサーヘッドは、分析時に電子顕微鏡の対物レンズ直下に挿入されるため、検出立体角を大きくすることができ、試料表面の形態と元素分布を高速で分析することが可能です。低真空モードでの分析にも対応するため、帯電する試料でも容易に分析することができます。本セミナーでは、Unityを使って電子部品や実装部品の解析に応用した例を紹介し、高速で効率の良い元素分析方法についてご説明します。

【出展装置】

• BEXイメージング検出器「Unity」
• EDS検出器（エネルギー分散型X線分析装置）「Ultim Extreme」
• EBSD（電子後方散乱回折）検出器「Symmetry S3」

詳細は電子機器トータルソリューション展のウェブサイトをご覧ください。