当社の小間番号：5407

出展製品

SiC/GaN-HEMT 次世代半導体製造

プラズマ技術ソリューション

• 原子層堆積(ALD)/原子層エッチング(ALE)
• プラズマ研磨ドライエッチングシステム

半導体製造を最適化する

特性評価ソリューション

• 原子間力顕微鏡（AFM）　
• ラマン顕微鏡　
• EDS/EBSD

TechSPOT

また、オックスフォード・インストゥルメンツは、出展社セミナーに参加致します。

日時：2024/12/12(木) | 11:30 - 11:50

場所：Hall5（東5ホール内ステージ）

内容：GaNパワーデバイスの量産へ：プラズマ技術を活用した原子層堆積と原子層エッチングソリューション

alpha300 Semiconductor Edition
大面積ウェハ検査用
ラマンイメージング顕微鏡

PlasmaPro ASP
原子層堆積（ALD）