展示会

オックスフォード・インストゥルメンツ（株）は、2022年12月14日（水）から開催されるSEMICON Japan 2022に出展します。また12月16日（金）15:30 ～、当社セミナーも開催します。

開催概要

会期：2022年12月14日（水）～16日（金） 10：00～17：00

会場：東京ビッグサイト（東展示棟）

＜住所とアクセス＞

〒135-0063 東京都江東区有明3丁目11-1

アクセス

主催：SEMIジャパン

当社の出展概要

当社の小間番号：4039

出展製品

• EDS/EBSD
• 原子間力顕微鏡（AFM）【実機展示】
• ラマン顕微鏡
• ALD/ALE
• PPDE (Plasma Polish Dry Etch)

大型試料対応ステージ型AFM
Jupiter XR 原子間力顕微鏡

出展者セミナー
日時：12月16日（金）15:30 - 16:15

会場：出展者セミナールーム（東4ホール）

参加費：無料
※事前登録の必要はありません。直接会場へお越しください。

セミナータイトル
ALE/ALD装置メーカーが提供する次世代半導体向け最新分析評価法

<英語>
Advanced analytical techniques for next-generation semiconductor application by ALE/ALD manufacturer

セミナー概要

目まぐるしく技術革新の進む次世代半導体には、従来の方法からフェーズアップした分析評価法が必要不可欠です。
本講演では、ALD（原子層堆積）、ALE（原子層エッチング）装置を開発・製造しているオックスフォード・インストゥルメンツが提案する最新の分析手法を事例を交えながらご紹介します。

<英語>
Next-generation semiconductors are undergoing rapid technological innovation, and a phase-up analytical evaluation methods are essential. Oxford Instruments, a manufacturer of ALD (Atomic Layer Deposition) and ALE (Atomic Layer Etching), will introduce the latest analysis methods with case studies.

当社セミナーページ（SEMICON Japan サイト）

出展事業部：分析機器事業部、アサイラム・リサーチ事業部、ビーテック事業部、プラズマテクノロジー事業部

SEMICON Japanとは？

SEMICON Japanは、半導体産業における製造技術、装置、材料をはじめ、車やIoT機器などのSMARTアプリケーションまでをカバーし、エレクトロニクス製造の国際展示会です。

SEMICON Japan 2022 ウェブサイト

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