25 October 2018

量子カスケードとその他赤外線レーザーのメーカーである米国AdTech Photonics社が、オックスフォード・インストゥルメンツのエッチングシステムを製造装置として採用

最先端光電子デバイスメーカーへの機器納入で世界をリードするオックスフォード・インストゥルメンツ・プラズマテクノロジー（OIPT）は、AdTech Photonics社がカリフォルニア州City of Industryにある製造設備に、OIPTのCobra^® plasma etch systems を採用したと発表しました。AdTech Photonics社は、量子カスケードやインターバンド・カスケード、そして近赤外、中波長赤外、長波長赤外のスペクトル領域をカバーする他の赤外線レーザー装置を製造しています。オックスフォード・インストゥルメンツの保有する、QCL、ICL、VCSELや他のレーザーに関する総合的なプロセス・ソリューション並びに、地域エリアでのサポート体制が、当社の高機能誘導結合プラズマ（ICP）エッチングCobraシステムの採用の決め手になりました。

「ICPエッチング装置購入に関してオックスフォード・インストゥルメンツを選んだ理由は、その先端的な技術とともに、製造プロセスにとって非常に有益で、他に類を見ないプロセス面のサポートがあるからだ。」 と、AdTech Photonics社のレーザー開発部門のXiaojun Wang部長は説明しています。

Cobraプロセス・ソリューションは、レーザーやRFデバイス、パワーデバイス、そして先進LEDなどの、最新のデバイス用途をサポートするように設計されています。

「IRベースのレーザー製品は、防衛や安全、環境分野の市場において、期待の大きい新たな成長段階に入っています。」「AdTech Photonics社のようなパイオニア的なメーカーに、レーザーのプロセス・ソリューションを提供できることを誇りに思っています。」 と、Emiel Thijssen米国営業部長は語っています。

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