14 March 2017

オックスフォード・インストゥルメンツ・プラズマテクノロジー、量産ものづくり大賞を受賞

オックスフォード・インストゥルメンツ・プラズマテクノロジーは、2017年3月7日にブリュッセルで開催されたCS産業年間表彰において、量産ものづくり大賞を受賞しました。

当社のPlasmaPro100 Porarisにより実現された、SiCプラズマ・エッチング・プロセスの開発が評価されたものです。

「この受賞は、プラズマテクノロジーの皆さんによって達成された、優れた技術革新が評価されたもので、大変感激しています。開発されたSiCビアエッチング・プロセスは、次世代の無線周波数デバイスの製造に重要なステップであり、滑らかな側面エッチングによるデバイス性能が得られます。また装置として、所有コストが低いメリットもあります。」と、オックスフォード・インストゥルメンツ・プラズマテクノロジーの戦略マーケティング・ビジネス開発担当役員のFrazer Andersonは述べております。

この成果の5年目にあたり、研究からデバイス完成に至る化合物半導体産業のバリューチェーン全体に渡る、成功と開発が認められたものであり、業界を発展させた人々やプロセス、製品が注目されたと言えます。この大賞は、100人以上の業界専門家が出席した、CS国際会議において表彰されました。