18 July 2023
革新的な超高速 ALD システムの発売を開始
オックスフォード・インストゥルメンツ、量子技術および先端R&D向けの革新的な超高速ALDシステムを発売
オックスフォード・インストゥルメンツは本日、Atomfab® システムにも含まれる研究向け高速 ALD (原子層堆積) 装置の PlasmaPro ASP の発売を発表しました。PlasmaPro ASPでは、新たに特許取得済みのリモートプラズマソースの設計、最適化されたチャンバー形状、およびイオンエネルギー制御のためのウェハステージバイアスを特長としています。それらによりALDのプロセスが3倍高速になり、本製品で当初想定した量子デバイス向けに低抵抗率、高Tcの超伝導窒化物膜を製造することができます。プラズマソースの設計には、プラズマ空間パラメータや高速低ダメージソースの特性を確認するための開発モジュールを受け入れてくれたアイントホーフェン工科大学（TU/e）との提携が重要な役割を果たしました。TU/eとの共同開発後に発表された研究論文は、昨年のAVS ALD/ALE会議で最優秀論文賞を受賞しました。
オックスフォード・インストゥルメンツとTU/eの協力関係は、プロセス開発まで続いており、TU/eは過去1年間、量子および追加アプリケーションのPlasmaPro ASPアプリケーション開発促進役を務めています。
「このシステムは、オックスフォード・インストゥルメンツの既存のALDツールのシリーズに加わった素晴らしいもので、生産性とプラズマ性能の点で際立っています。したがって、エレクトロニクス、フォトニクス、量子技術の分野における我々の研究に、非常に有益な機会を与えてくれます」。 Prof.dr.ir. Erwin Kessels, プラズマ＆材料プロセス（PMP）グループ長
「我々は、超伝導量子材料向けのPlasmaPro ASPに対して、市場から発売前に高い関心が寄せられていることを感じていました。PlasmaPro ASP は、革新的な高速プラズマソース設計と安定した装置稼働、さらにPTIQと称する直感的なソフトウェア・インターフェースにより、量子技術の主要な課題に対処するように設計されています」
「当社のAtomfab® ALDシステムに由来するプラズマソース設計により、PlasmaPro ASPはプロセス速度と安定性を維持しつつ、柔軟性を高める追加ハードウェアを搭載することで、量子技術マーケットに開発サイクルを加速するユニークなソリューションを提供します」 オックスフォード・インストゥルメンツ・プラズマテクノロジー（米国）、量子テクノロジー・マーケット・マネージャー、Russ Renzas博士。
オックスフォード・インストゥルメンツは、7月23日から26日までワシントン州ベルビューで開催される米国真空学会の第23回原子層堆積に関する年次会議（AVS ALD/ALE 2023）に参加します。オックスフォード・インストゥルメンツのプラズマテクノロジーのスタッフがブースでPlasmaPro ASPについて説明し、量子技術やその他の発展途上の技術に向けた最新の原子スケールプロセスソリューションを紹介します。
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本プレスリリースは、イギリス時間7月14日に発表した『Breakthrough Ultra-fast ALD Product』の抄訳です。