31 October 2022

オックスフォード・インストゥルメンツのアサイラム・リサーチから大型試料対応の原子間力顕微鏡Jupiter XR用のnanoTDDB高電圧アクセサリがリリース

オックスフォード・インストゥルメンツ社アサイラム・リサーチは、本日、Jupiter XR原子間力顕微鏡（AFM）用の新しい高電圧アクセサリであるnanoTDDB（ナノスケール絶縁膜経時破壊）のリリースを発表しました。このnanoTDDB技術により、材料が絶縁破壊を起こす際の電圧を測定することができます。このユニークなnanoTDDBアクセサリは、Jupiter XRで利用できる電気特性評価ツールの範囲を広げ、半導体、二次元材料、薄膜、ポリマーの分野において高度な測定が可能になります。

アサイラム・リサーチのJason Li博士（プロダクトサイエンスグループ・マネージャー）は、「このnanoTDDBは、小さなサンプルから200 mmウェハなどの大きなサンプルまで、最大±150 Vの絶縁破壊電圧を測定することができるアクセサリです。豊富なJupiter XR AFM用のアクセサリの一つに加わる素晴らしい製品です」とコメントしています。

アサイラム・リサーチのAFMは、二次電池、高分子、半導体、二次元材料など、さまざまな産業・学術研究分野で広く利用されています。Jupiter XRは、直径200 mmまでの試料に対応し、100×100ミクロンまでの領域を走査できる大型試料対応AFMでありながら、高分解能と高スループットを実現しています。通常、60秒以内でAFM画像を取得することができます。

詳細については、下記ウェブサイトをご覧ください。

nanoTDDB（ナノスケール絶縁膜経時破壊）

「Jupiter XR用nanoTDDB高電圧アクセサリ」についてのお問い合わせ
オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社
アサイラム・リサーチ事業部
Tel：03-6630-4595
Email: sales.asylum.jp@oxinst.com
https://afm.oxinst.jp/