【AFMウェビナー】半導体向けソリューション

Sep 27, 2021

AFMウェビナーのご案内
AFMを用いた異物位置ローカリゼーション

半導体分野において清浄度管理は重要ですが技術の進歩と共に対象とされる異物サイズは小さくなりSEM/EDS法では難しくなっています。そのためTEM/EDS による解析法が注目されていますが、効率良く行うには異物の位置を迅速かつ正確に把握するローカリゼーションが極めて重要です。本ウェビナーでは、この課題を解決するために最適なAFMと、それを実現するために必要な最新AFM技術についてご紹介します。