11 Oct

オックスフォード・インストゥルメンツ、最高のプロセス設備をアジアで供給

オックスフォード・インストゥルメンツは、アジアにおけるお客様に、優れたプラズマプロセス・ソリューションを供給することができるようになり、最近、台湾の工業技術研究院（ITRI）の応用研究所に、最先端のプラズマエッチング装置を設置致しました。オックスフォード・インストゥルメンツがこれまでにITRIに納入している、既存のエッチングおよびデポジション能力を、更に拡大するものです。

最新のPlasmaPro 100 CobraとPlasmaPro 100 Polaris ICPエッチング・ツールは、今月、設置され、光電子デバイス、ワイドバンドギャップのディスクリートデバイスとセンサー市場に向けて、アジアのお客様ITRIに適合するように設計されています。

オックスフォード・インストゥルメンツ・プラズマテクノロジーのアジア地区営業＆サービス担当副社長のIan Wrightは、「当社は、お客様にプロセス・ソリューションを提供することを理念としています。これらの新しいツールの納入は、アジアのお客様に対してこの理念を達成するコミットメントを示すものであり、これまでにITRIで確立されている、既存の当社製エッチングおよびデポジションシステムを補完するとともに、アジア市場での地域エリア・サポートの提供を可能にするものです。お客様は、台湾をベースとする当社の献身的なアプリケーションチームから、フルサポートによる追加メリットを受けることができ、お客様のお問い合わせに対する迅速な対応が約束されます。」と語りました。

ITRI研究所に対する最近の改善は、両社間の長期的な研究ベースの提携協定へと発展していきます。この協定では、オックスフォード・インストゥルメンツが、プロセス・エンジニアの駐在する研究センターをITRIに設置し、極東の広範なお客様にメリットを提供します。

ITRIにおけるオックスフォード・インストゥルメンツのプロセス研究所は、先端的なプロセス研究を実施し、お客様からサンプルを受け取ることができます。