23 Aug

オックスフォード・インストゥルメンツ、VCSELの量産加工設備を初めて中国に納入

今日、光電子工学メーカーに対するリーディングサプライヤーである、オックスフォード・インストゥルメンツ・プラズマテクノロジー（OIPT）は、Sino-semic社の泰州市にある製造設備に、OIPTのCobra^®プラズマエッチング・システムが採用されたと発表しました。中国単独として初めての、顔認証向けVCSELの開発製造企業である、Sino-semic社は、 処理能力と地域エリアでのサポート体制が、高機能誘導結合プラズマ (ICP) エッチングCobraシステムの採用の決め手になったとしています。

「ICPエッチング装置購入に関してオックスフォード・インストゥルメンツを選んだ理由は、その先端的なプラズマ処理システムとともに、製造計画の遂行にとって非常に有益で、他に類を見ないプロセス面のサポートがあるからだ。」と、Sino-semic社のLi Jun副部長は述べておられます。

Cobraプロセス・ソリューションは、レーザー、RFデバイス、パワーデバイス、先進LEDなどの、最新のデバイス用途をサポートするように設計されています。

“VCSELベースのデバイスは、期待が大きく新たな成長段階に入っています。」と、OIPTのRichard Polland業務執行取締役は語っています。「Sino-semic社のようなパイオニア的なメーカーに、VCSELプロセス・ソリューションを提供できることに感激しています。」

以上

（発信）オックスフォード・インストゥルメンツ・プラズマテクノロジー