January 22, 2019

オックスフォード・インストゥルメンツ、マイクロLED開発に向けて、プラズマ・エッチング・ソリューションをITRIに提供

プラズマによるエッチングおよびデポジションを用いた光電子工学ソリューションで世界をリードする、オックスフォード・インストゥルメンツ・プラズマテクノロジー（OIPT）は、台湾新竹市にある工業技術研究院（ITRI）が、OIPTからマイクロLEDのR&Dプログラム用に、エッチングおよびデポジションの両方を含む複合PlasmaPro 100システムを採用したと発表しました。

ITRIは、世界をリードする技術研究開発機関の1つであり、台湾の産業を技術革新型に転換する、重要な役割を果たしてきました。その発足以来、270以上の革新的な企業が、ITRIによって育成されており、その中にはUMCやTSMCのような有名な会社もあります。

電子光電子工学システム研究所副部長のFang博士は、「先端技術を保有するオックスフォード・インストゥルメンツとは、緊密な連携を取ってきたが、今回、最新のシステム採用に関してオックスフォードを選んだ理由は、それだけではない。応用面のソリューション、および他にはない地域エリアでのプロセスサポート、そして研究所における開発を産業界のパートナーにおける製造標準まで育成してくれる能力が、採用に関する判断に大きな影響を与えた。」と述べています。

PlasmaPro 100 ICPプロセス・ソリューションは、レーザー、RFデバイス、パワーデバイス、先進LEDのような、先端的デバイスへの応用をサポートできるように設計されています。

OIPTの戦略マーケティング・マネジャーのRobert Gunnは、「サムスンの壁掛けテレビが実証されるのに使われたのと同じマイクロLEDに関するR&Dプログラムにおいて、期待の大きい次世代LEDの開発段階で、ITRIがOIPTをパートナーとして選んでいただいたことに感激しています。」と、語っています。「急速に拡大する市場において、OIPTのプロセス・ソリューションを採用した、多数の研究機関および新規ベンチャー企業の中で、ITRIは最も新しいパートナーです。」

以上

（発信）オックスフォード・インストゥルメンツ・プラズマテクノロジー