04 October 2016

オックスフォード・インストゥルメンツのシステムが、水質浄化技術を促進

HBLED製造の先端的プロセス技術の主要プロバイダーであるオックスフォード・インストゥルメンツは、正に創業以来、HBLED産業において重要な役割を果たしてきました。そして今日、当社のシステムが、UV LEDの導入を促進し、遠隔地に安全な飲料水をもたらす水質浄化システムに活用されています。

オックスフォード・インストゥルメンツのPlasmaPro 1000 Stratum PECVDツールが、UV LEDの製造に不可欠な高品質誘電体のデポジションに用いられています。膜の品質やバッチ容量、そしてスループットは、この最新技術を促進するツールとして、理想的な条件になっています。UV LEDが高電力において高信頼性で作動するために必要な厚いパシベーション層を、膜品質と低い所有コストを維持しつつ製造できるので、このシステムはUV LED製造に理想的です。バッチ内の全ウェハーについて、高仕様の膜デポジションを一定量に保てるチェンバー設計により、最大14 x 4”ウェハーのバッチサイズが可能です。先端技術ツールにより、光学発光分光分析（OES）で自動的に制御される、チェンバーの高速プラズマ洗浄が可能になり、最大の歩留まりおよび稼働時間が実現されます。

「UV LEDは、従来のUV光源に対して、幾つかの利点を有しています。」と、オックスフォード・インストゥルメンツ・プラズマテクノロジーの光電子デバイス製品マネジャーのMark Dineen博士は語っています。「低いDC電源で作動するので、太陽エネルギー電源から電力供給を受けることができます。従来の光源よりも明るく堅牢であることと併せて考えると、浄水供給が限られているか、または全く存在しない、ライフラインのない遠隔地での利用に、非常に適しています。」

「また、UV LEDは、バクテリアの除去に向けて最適波長に制御でき、従来の光源よりも水質浄化に著しく有効となっています。最後に、従来のUVランプでは必須の部品である、水銀を含みません。結果として、UV LEDと従来のUVランプを比較したとき、汚染事故およびリサイクルの必要性の観点より、環境への影響リスクが顕著に削減されています。」

オックスフォード・インストゥルメンツ・プラズマテクノロジーは、革新的なハイテクのプラズマ処理ソリューションを提供し続け、現代の進歩そして将来の環境保護を押し進めています。