21 June 2017

「ナノテク2017：限界の打破」ワークショップにおける、ナノスケール処理の壁の打破

オックスフォード・インストゥルメンツとカリフォルニア工科大学（CALTECH）カブリ・ナノサイエンス研究所は、2017年7月19日に、1日のワークショップを開催します。

このワークショップは、ナノスケール・プラズマ処理の研究および開発における、最近の進歩について総括するとともに、ミクロやナノ、そして原子スケールの構造とデバイスにおける製造と応用について将来動向を展望します。参加無料であり、下記の分野に興味がある、産業界および学界の誰もが参加できます。

「ナノスケール加工分野で、このように高い見識と多様な経験を持つゲストスピーカーを、CALTECHと共同で開催するイベントに、お招きできたことに喜んでいます。」と、オックスフォード・インストゥルメンツ・プラズマテクノロジーの戦略マーケティング・ビジネス開発担当役員のFrazer Andersonは語っています。「プラズマテクノロジーは、同じ同志達と経験を共有化することによって成長しており、このようなイベントは理想的な機会です。」

ワークショップにおけるテーマには、次があります。

• シリコン真空管：CALTECH、Schererグループ、Max Jones
• DRIEエッチング－ブラックシリコン：ジェット推進研究所、Karl Yee
• 原子層エッチング（ALE）：将来技術に向けた高精度手法：オックスフォード・インストゥルメンツ、Mike Cooke
• SiCエッチング：CALTECH、Andrei Faraon
• 原子層堆積（ALD）：原子スケール処理の新しい開発：オックスフォード・インストゥルメンツ、Thomas Miller
• 2D材料とヘテロ構造の成膜：オックスフォード・インストゥルメンツ、Robert Gunn
• InPエッチング：ジェット推進研究所、Ryan Briggs
• MEMsプロセス：NIST/CNST、Vladimir Aksyuk
• PECVD技術の最近の進歩：オックスフォード・インストゥルメンツ、Hannah Morgan-Cooper

参加は無料ですが、http://www.oxinst.com/NanoTech2017における登録が必要です。