22 January 2024
マイクロLEDおよびAR向けALD技術に投資が拡大中
オックスフォード・インストゥルメンツ、マイクロLED向けALD技術を英国のAR（拡張現実）および先端コンシューマー機器向け主要メーカーに供給
オックスフォード・インストゥルメンツの原子層堆積（ALD）装置が、数々の賞を受賞している英国のマイクロ LED メーカーに導入され、最新の一般消費者向けイマーシブ（没入）AR デバイスやディスプレイデバイスの開発に貢献しています。この装置は、高密度、超高輝度、低消費電力、高フレームレートの RGB ピクセルアレイ用の High-k 誘電体超薄膜を成膜するために使用され、この薄膜は一般消費者向けの拡張現実、仮想現実、複合現実デバイスやスマートウォッチに利用されます。
高精細ディスプレイを搭載した小型のウェアラブルデバイスに対する需要の高まりが、この産業向けの研究を大きく成長させています。 マイクロLED は、ダイピッチサイズが 10μm 以下となるため、高い画像解像度を維持しながら、一般消費者向けウェアラブルデスプレイの小型化が可能になります。ピッチサイズが小さくなるにつれ、外周と面積の比は比例して大きくなり、メサ形成と絶縁膜のプロセスでもたらされるダメージが性能を左右する要因となります。
2023 年に福岡で開催された ICNS-14（窒化物半導体国際会議）では、プラズマALD がダメージ対策に有効であることを示す多くの発表が行われていました。プラズマALDは、重要な材料性能指標である外部量子効率を大幅に向上させることも示され、ALD が小型発光デバイスにとって極めて重要であると研究者が説明を行っていました。
「当社の低ダメージプラズマ ALD 技術が、200 mm 対応プラットフォームのマーケットで高い評価を得ていることを大変喜ばしく思っています。当社のプラズマ ALD による High-k パッシベーション・ソリューションは、アクティブ・エリアが小さい小型のダイ向けに最適化されており、ICNS-14 では、当社のユーザーによって外部量子効率が 2倍になることが示されていました。小型の高性能マイクロLEDは、VR（仮想現実）用ゴーグルのディスプレイや、スマートウォッチなどの先進的なデバイスに不可欠な要素であり、当社の技術は、最先端の一般消費者向けデバイスを実現するものです」 Klaas Wisniewski (オックスフォード・インストゥルメンツ ストラテジック事業開発ディレクター)
オックスフォード・インストゥルメンツは、化合物半導体プロセス装置および関連ソリューションのリーディングサプライヤーとして、サンフランシスコで開催される Photonics West 2024 に参加します。当社のエキスパートが、拡張現実、仮想現実、複合現実、量子技術、人工知能や機械習得向けデータ転送アプリケーション用のオプトエレクトロニクスプロセスをご紹介します。オックスフォード・インストゥルメンツのエッチング、デポジション、イオンビームのプロセスソリューションが、どのようにお客様のプロジェクトを促進させ、より低コストで多くの高品質な ウェハを提供することができるのか、ぜひご来場ください。
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イギリス時間1月22日に発表した『Significant investment into ALD technology for MicroLED & AR』の抄訳です。
