18 April 2023

KAUSTとの重要なパートナーシップについて

KAUSTとの重要なパートナーシップ：ALE機能を追加した最先端ALDシステムのハードウェアアップグレードおよびサポート

オックスフォード・インストゥルメンツのプラズマテクノロジーは、サウジアラビアのアブドラ国王科学技術大学（KAUST）Core Lab（学際的で連携した研究室制度）と重要な提携を結んだことを本日発表しました。この提携により、KAUSTのCore Labと研究インフラには、既存のオックスフォード・インストゥルメンツのFlexAL® ALD（原子層堆積）機能に、オックスフォード・インストゥルメンツのPlasmaPro®100 Cobra® ALE（原子層エッチング）システム2台が追加され、大きなメリットを得ることになりました。また、ALEとALDの両モジュールにより、KAUSTは、オックスフォード・インストゥルメンツの最先端ALDを用いたGaN HEMT Origin of Interfacial ChargesやGaN HEMT Highly Suppressed Interface Trapsなどのプロジェクトを強化し、世界最先端の技術研究を発展させて学術界と産業界のギャップを埋めるために適した立場となりました。

当社プラズマテクノロジーのデポジション・エッチング装置の充実したアップグレードプログラム

この提携には、KAUSTの研究所に既に設置されているFlexAL®、IonFab®、ICP（誘導結合プラズマ）エッチングシステムなど、当社プラズマテクノロジーのデポジション・エッチング装置に対する大幅なアップグレードプログラムが含まれています。

このアップグレードプログラムには、X20 PLC（プログラマブルロジックコントローラー）のインストールと継続的なサポートが含まれています。これは、オックスフォード・インストゥルメンツのハードウェア機能をフル活用し、プロセス開発を強化する先進的なハードウェアコントローラーのひとつです。さらに、オックスフォード・インストゥルメンツの直感的な最新ソフトウェア制御アプリケーションPTIQ®に更新することで、プロセス診断や予防保全の追跡のための高度なデータロギングと分析が可能になりました。研究者の作業とユーザー体験を促進するため、KAUST Core Labsのエンジニアは、オックスフォード・インストゥルメンツ・プラズマ・テクノロジーの英国トレーニング施設にて、様々な特注ツールメンテナンスとALEシステムのトレーニングプログラムを受講する予定です。

KAUST Nanofabrication Core Labディレクター Ken Kennedy氏は、「今回の合意は、世界最高の研究者と優秀な学生を惹きつけるKAUSTの最先端施設と技術的専門知識の開発を継続するものです」と述べています。さらに、「この投資は、KAUSTの教授陣と共有施設間の連携を強調し、先進的な科学技術教育と研究において王国をサポートします」と語りました。

当社プラズマテクノロジー グローバルサービス Dean Furlong（クオリティ＆デジタル・ディレクター）は、次のように述べています。「この提携は、世界の研究開発市場における主要な顧客と長期的な戦略的パートナーシップを築き、当社の幅広いアップグレードポートフォリオとサービスソリューションで顧客をサポートする当社の実力を示す素晴らしい例です。これはKAUSTからの多額の投資で、国際的に認められたユーザー施設としての評価を高め、ALEの追加により最先端のALD研究をさらにサポートします」とコメントしています。

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本プレスリリースは、イギリス時間4月18日に発表した『Significant partnership with KAUST』の抄訳です。