2 Nov

固体レーザーメーカーLasertel社が、デバイスの特性向上に向けて、オックスフォード・インストゥルメンツのICPCVD先進デポジション・ソリューションを採用

オックスフォード・インストゥルメンツ・プラズマテクノロジーは、米国アリゾナ州のLasertel社が、固体レーザー（SSL）製造に向けて、先進誘導結合プラズマによる化学気相堆積（ICPCVD）システムの1つを、最近購入したことを発表しました。ICP源として高密度プラズマを実現することは、ICPCVD技術が低温において、低損傷で高品質の誘電体膜デポジションを生成することを意味します。低温でのデポジションは、温度に敏感な膜とデバイスを確実に製作することを可能にします。オックスフォード・インストゥルメンツのプロセス・ソリューションは、低温デポジションにおいて業界をリードする成膜品質を達成し、レーザーデバイス製造に必要なパラメータ・ウインドウを拡大します。

オックスフォード・インストゥルメンツのデポジション製品の上級マネジャーのChris Hodsonは、「当社は、SSLメーカーと長いお付き合いがあり、製造プロセスを改善しようという、常に増大するお客様の要求に、直接的に適応できる最新のプロセス・ソリューションを開発しております。この技術を採用することによって、Lasertel社はデバイス性能を向上することができています。」と語りました。

Lasertel社の技術担当のPrabhu Thiagarajan副社長は、「我々は、オックスフォード・インストゥルメンツの設備に何年も頼ってきており、益々難しくなる製造において限界を突破することで、協力してもらっていることに感謝している。」と語りました。