9 May 2023
NY州立工科大学が当社のALDシステムを導入
ニューヨークの最先端研究センターがオックスフォード・インストゥルメンツのプラズマテクノロジーALDシステムを導入し、原子スケールプロセスから量産化までを加速
当社プラズマテクノロジーは、ニューヨーク州立工科大学(SUNY Polytechnic Institute)に重要な装置を納入したことを発表します。FlexAL PE-ALDシステムは、SUNYの研究開発パートナーが画期的なプロセス開発を行う際の、確実な性能技術とRFバイアス機能を提供します。またFlexALにより、エリア選択デポジション(ASD)のような革新的なプロセスの開発やナノメートルスケールの超薄型クローズ膜の作製が可能になります。
SUNY Polytechnic Instituteの新しい設備投資は、ラボのアップグレードという戦略的計画をサポートし、比類のない研究機会を提供し、CHIPS法の資金を受け取るための立場を高め、半導体業界のパートナーとの関係をさらに強化します。
写真提供：ニューヨーク州立工科大学
FlexAL PE-ALDシステムにより、世界有数の研究センターの製作設備が強化されました。
この新しいツールは、165万平方フィートのAlbany NanoTech Complexにある世界クラスの製造装置をさらに補完するもので、ここはナノサイエンス、ナノエンジニアリング、ナノバイオサイエンスという新しい分野の研究、開発、教育、展開を専門とする世界で最初の大学です。SUNY Poly Innovation のサイエンティストである Christophe Vallée 博士は、「この装置にはin situ診断装置（発光分光法とエリプソメトリ）が搭載され、これらのプロセスに関わるプラズマと表面の反応についてより深く理解することができるようになります。また、300mmファブで実施する前に、新しいプリカーサーや新材料を専用デバイスでテストすることも可能になります」と述べています。
FlexAL PE-ALDシステムは、革新的なハードウェアソリューションと確立されたプロセスというユニークな組み合わせを提供します。PE-ALDのパイオニアとして、またRFバイアス電極を最初に導入したオックスフォード・インストゥルメンツのプラズマテクノロジーは、直ちに利用可能な多くのプロセスライブラリーを有しています。「私たちは、FlexAL PE-ALDシステムが、世界で最も先進的で認知度の高い半導体研究センターの設備ポートフォリオを補完するものとして選ばれたことを大変うれしく思っています。我々は、SUNY Polyと提携し、その研究と次世代製造ソリューションをサポートすることを楽しみにしています」と、オックスフォード・インストゥルメンツのプラズマテクノロジー Emiel Thijssen (アメリカ担当セールスおよびビジネス開発担当副社長)は述べています。
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本プレスリリースは、イギリス時間4月28日に発表した『SUNY Poly installs our ALD system』の抄訳です。