Nov. 29, 2023
WITec（ビーテック）はalpha300 Semiconductor Editionを発表
ウェハ特性評価用ラマンイメージングが
さらなる大型ステージへ
オックスフォード・インストゥルメンツのWITec（ビーテック）は、半導体研究開発用に特別に構成されたalpha300ラマン顕微鏡を発表しました。本システムの大きな特長は、最大12インチ（300 mm）の試料を搭載できる大面積スキャニングステージ、および測定を効率化する高度なワークフロー・ソフトウェアが標準装備されている点です。
半導体は情報化時代の原動力であり、その特性をより詳細に理解するための競争は熾烈を極めたものとなっています。alpha300 Semiconductor Editionは、この分野におけるWITecの技術的な優位性を統合し、最大300 mm（12インチ）ウェハの化学組成、結晶品質、歪み（ひずみ）、およびドーピング特性評価を加速できるようにします。
「私たちは alpha300 からスタートして、スキャン範囲を大幅に拡大し、実験を直感的に定義してシーケンス化するためのソフトウェアを開発しました。これにより、スライドガラス上のサンプルと同じ精度と利便性をもって、最大サイズのウェハを検査できる装置が完成しました。」と WITec プロダクトマネージャーの Thomas Dieingは述べています。
alpha300 Semiconductor Edition共焦点ラマン顕微鏡は、アクティブ除振機能、光学式プロフィロメータによるフォーカス・ポイントの自動補正機能、および測定手順の標準化や遠隔操作のための包括的な自動化機能を備えています。
「これは私たちのFocus Editionの第一弾であり、特定の業界に提供できる利点をパッケージ化し、アプリケーションに重点を置いたシステムです。alpha300 Semiconductor Editionは、大型半導体ウェハを検査する企業などですぐにご利用いただけるよう設定されています。」と WITec マーケティングディレクターの、Harald Fischerは述べています。
WITec のalpha300 Semiconductor Editionは、12月13日から15日まで東京ビッグサイトで開催されるSEMICON Japanで展示されます。
製品の詳細については、alpha300 Semiconductor Editionの製品ページをご覧ください。
WITec（ビーテック）について
WITec は、3D ラマンイメージングと相関顕微鏡のパイオニアであり、スピード、感度、分解能に妥協のない製品ラインナップで、業界をリードし続けています。ラマン顕微鏡、AFM 顕微鏡、SNOM 顕微鏡、およびビーテックが開発した Raman-SEM（RISE）装置は、拡張可能なモジュール式のハードウェアおよびソフトウェアにより、化学および構造特性評価において特定の課題に合わせてカスタマイズすることが可能となっています。
研究、開発、生産はドイツ・ウルム市のビーテック本社（WITec GmbH）で行われており、ビーテック製品の販売・サポートネットワークは世界のあらゆる地域で確立されています。ビーテックはオックスフォード・インストゥルメンツ・グループの一員であり、その幅広い事業ポートフォリオにラマン顕微鏡の技術的リーダーシップをもたらします。
本記事に関するお問い合わせ先
オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社
ビーテック事業部
〒141-0001 東京都品川区北品川5丁目1番18号
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Tel: 03-4510-3521 Email
URL:https://raman.oxinst.jp
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E-mail: press@WITec.de
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